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珂锐弘扬流体控制系统(图)-气体管道压力-气体管道

高纯气体管道配管

所有高纯度、高洁净的气体均需通过管路输送到设备用点(POU)，为了达到工艺对气体的质量要求，在气体出口指标一定的情况下，则更需重视配管系统的材料选用和施工质量。除取决于制气或净化设备的精度外，在很大程度上受到管路系统诸多因素的影响，因此，管材的选取应恪守相关行业原则，并在图纸中注明管道材质。

管路的材质则依使用的需求进行选择，若为制程用的反应气体则选择高等级的316L EP管，经电解拋光(Electro-Polish)处理，耐腐蚀，表面粗糙度低，Rmax(maximum peak to valleyheight)约为0.3μm以下，其值远低于经过光辉烧结(Bright Anneal)处理之316L BA管的0.8μm，因平整度越高越不容易形成微涡流，而将污染粒子带出。316L BA管则常使用于和芯片接触但不参与制程反应的气体，如GN2、CDA。管内表面粗糙度是衡量管材质量的标准。粗糙度越低，其颗粒携带可能性大大降低。另一种未经特殊处理的AP管(Annealing & Picking)，则用于不做为供气管路的双套外管。

工业气体在使用上需要注意哪些事项

在使用一氧i化碳气体检测仪的时候要注意事项：

1、检查气体流量、通常为30/h，流量过大或者过小对分析仪结果影响较大

2、更换滤纸：停抽气泵，过滤罐排水

3、检查气路系统中有无漏气现象。抽泣泵膜片有无破损，取样探头密封圈是否破i裂，四通阀、冷凝汽是否损坏等

4、取样探头清洗，取样孔管路疏通

5、检查冷凝器工作是否正常，通常温度调整在3摄氏度范围内

6、检查测量器室看是否脏污，及时清洗。

1、气瓶安全附件完好齐全（包括橡皮圈、安全帽、压力表、阻火器、减压阀、易熔塞） ， 胶皮软管必须完好无老化破损情况，与气瓶接口处应用卡子固定，以防滑脱。 2、氧气、乙i炔不能混合存放（二者应隔开或隔离放置，隔开距离 2 米以上） ，使用时距离 5 米以上，气瓶不可放置在距明火、高温部位较近的地方（距离 15 米以上） ，放置场所应阴 凉通风，并有防倾倒措施。 3、工业气瓶在搬运过程中，严禁在地上滚动，应用手旋转平移。装车时，气瓶应该方向一 致，捆扎牢固。运输必须用危化车辆。氧气、乙i炔严禁混装运输。 4、在上部有动火和高温天气使用气瓶时，应用不燃物体遮盖，高温天气不能在阳光下长时 间曝晒，气瓶使用完毕后，须拆下减压阀、胶皮软管等设施，并戴上安全帽，然后按第 2 条要求放置。 5、乙i炔气瓶在使用时严禁平放在地上。 6、氧气瓶在储存使用过程中严禁接触油脂。 7、切割、焊接作业前，应清理周围易i燃物，以防引燃。 8、动火作业现场应设专人监护，并配置相应的消防灭火设施，如灭火器、水等。 9、存放（或存放过）易i燃易i爆危险品的容器、管线设备不能直接进行动火作业，应进行相 应处理或采用其他安全措施，确认安全后再进行动火作业。 10、在具有一定危险性的场所动火作业，用火单位应使用“用火许可证” ，在落实安全措施 后经负责人审批再进行施工。

特气管道工程

　　特气就是特种气体，指那些在特定领域中应用的, 对气体有特殊要求的纯气、高纯气或由高纯单质气体配制的二元或多元混合气。特种气体门类繁多, 通常可区分为电子气体、标准气、环保气、气、焊接气、杀菌气等, 广泛用于电子、电力、石油化工、采i矿、钢铁、有色金属冶炼、热力工程、生化、环境监测、医学研究及诊断、食品保鲜等领域。区别于我们呼吸的空气（含21%氧，78%氮，1%水、二氧化碳等），其纯度一般在99.99%（4N）以上。

　　特气管道施工一般分为主系统，二次配主系统，根据客户要求有气源送到用气点附近的管道一般没有什么危险，只要根据客户要求按照规范去施工，二次配管VMB阀箱预留阀到机台接点之间的管道施工，一般都会在无尘室进行，二次配管的危险在于主通道已经通上气体介质，我们在无尘室施工，要在客户工程师的陪同下进行，对于无尘室的阀门及类似阀门的开关，不要乱动，无尘室都会安装气体探头和气体泄露报警装置，一旦有气体泄露，我们应丢下手中任何工作，通过安全指示撤出无尘室。