苏州珂锐弘扬流体控制系统有限公司

杭州气体管道-珂锐弘扬(在线咨询)-气体管道压力

各种气体配管配件要求

在半导体体行业线宽越做越小，其对气体纯度、颗粒度、杂质含量、露i点的要求也越来越高。

高纯氮气(PN2)：系统管道采用内壁电解抛光(EP)低碳(316L)不锈钢管，阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。

氮气(N2)：系统管道采用内壁电解抛光(EP)低碳(316L)不锈钢管或光亮退火(BA)低碳(316L)不锈钢管，阀门采用相同材质的波纹管阀或球阀。

高纯氢气(PH2)氢气(H2)：系统管道采用内壁电解抛光(EP)低碳(316L)不锈钢管，阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。(Ar)：系统管道采用内壁电解抛光(EP)低碳(316L)不锈钢管，阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。

氦气(He)：系统管道采用内壁电解抛光(EP)低碳(316L不锈钢管)阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。

特气系统：必要的还需做双套管：外管酸洗钝化(AP)处理，内管电解抛光(EP)，阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。

对于特殊气体来讲，气体品种多，有毒有害气体多，原来是一机台配一气柜，高昂的装备组合和维修费用大大增加了投资成本，且有的还布置在工艺间内，存在着泄漏的安全隐患。现在广泛采用集中供气系统，气柜集中，自控系统不断完善，其报警、喷淋、切换、吹扫多较为成熟，特气间也与工艺间隔离，并对房间有防爆要求，工作的安全性大大提高。

管道系统的布置方式

各种管网都是由总管、干管和支管三部分组成。 总管是指从室外管网到实验室内的管道，干管是指从总管分送到各单元的管道，支管是指从干管连接到实验台的实验设备的管道，各种管道一般总是以水平和垂直两种方式布置。

管道系统设计的考虑因素

科学合理的管道系统设计，可以较低的成本实现不错的功能与效果。通常考虑一下因素。

1.管道系统的布置方式

合理布置垂直输送、水平输送、排放管道和管井的位置，将楼层高降到底线，尽量减少输送和排放管道的交叉次数，降低建筑投资成本。

2.管道系统的维护问题

必须预留维修的空间，方便维修管道系统的控制阀门和断路器等关键部件。

3.管道系统未来的改变

必须预留空间和通道以允许对公用服务设施进行改变和增加，适应未来发展的需要。

4.管道系统的效率

尽量使各种管线短捷、经济合理，提升效率，降低运行费用与管道系统的投资费用。

5.建筑的形象设计

管道系统的设计直接影响建筑物的高度和体量，可采用实验室模块分散式管井，也可采用集中式大型竖井，必须结合建筑物的总体形象与实验楼的实际需要，曹勇美观的管道系统。

实验室气体工程安装注意事项

　　（1） 管径为1/8的管路很细且特软，安装后不直，很不美观，建议管径为1/8的全部换成1/4，在二级减压器末端加一变径就可以了。

　　（2） 氮气，Ar，压缩空气，氦气，甲i烷，氧气的已经减压器压力表量程为0—25Mpa，二级减压器为0—1.6 Mpa。乙i炔一级减压器量程为0—4 Mpa，二级减压器为0—0.25 Mpa。

　　（3） 氮气，Ar，压缩空气，氦气，氧气钢瓶接头共用氢气钢瓶接头分两种，一是正转钢瓶接头，另一是反转。大气瓶用的是反转，小气瓶用的是正转。

　　（4） 气体管路每隔1.5m设一管子固定件弯曲处及阀门两端都应设固定件。

　　（5） 气体管路应沿墙明设，以便安装维护。